EDX-7000/8000能量色散X射線分析儀的X射線管發(fā)出X射線照耀樣品，樣品中所含的原子則向外發(fā)射原子才有的X射線。這種X射線被稱為熒光X射線，各元素具有特定的波長(zhǎng)（能量）。因此，經(jīng)過(guò)檢測(cè)X射線的波長(zhǎng)就可以進(jìn)行定性分析。別的，熒光X射線的強(qiáng)度與濃度具有函數(shù)關(guān)系，檢測(cè)每個(gè)元素X射線特征波長(zhǎng)的X射線量就能進(jìn)行定量分析。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析是確認(rèn)物質(zhì)中微量元素的品種和含量的一種辦法，又稱X射線次級(jí)發(fā)射光譜分析，是運(yùn)用原級(jí)X射線光子或其它微觀粒子激起待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生次級(jí)的特征X射線(X光熒光)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研討。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析儀用X射線照耀試樣時(shí)，試樣可以被激起出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)(或能量）分開(kāi)，別離測(cè)量不同波長(zhǎng)(或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此運(yùn)用的儀器也叫X射線熒光光譜儀。

 

　　原子結(jié)構(gòu)由原子核及核外電子組成，每個(gè)核外電子都以特定的能量在固定軌道上運(yùn)行。當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生磕碰時(shí)，驅(qū)逐一個(gè)內(nèi)層電子(如:K層)而出現(xiàn)一個(gè)空穴，使整個(gè)原子結(jié)構(gòu)處于不穩(wěn)定狀態(tài)，較外層電子(如:L層)就會(huì)自發(fā)地躍遷到內(nèi)層來(lái)填充這個(gè)空穴。不同殼層之間存在能量差(如:LE=EL-EK)，當(dāng)躍遷過(guò)程中能量差以二次X射線的方式開(kāi)釋出來(lái)時(shí)就可以發(fā)射特征X射線熒光。

 

　　每一種元素都有其特定波長(zhǎng)（或能量）的特征X射線。由Moseley定律可知，元素的熒光X射線的波長(zhǎng)(λ）隨元素的原子序數(shù)(Z)添加，有規(guī)則地向短波方向移動(dòng)。上式中K、S為常數(shù)，隨譜系(L、K、M、N)而定。經(jīng)過(guò)測(cè)定樣品中熒光X射線的波長(zhǎng)，就可以確認(rèn)樣品中元素的品種信息。這便是X射線熒光光譜定性分析。

 

　　元素特征X射線的強(qiáng)度與該元素在樣品中的原子數(shù)量成比例。經(jīng)過(guò)測(cè)量樣品中某種元素?zé)晒釾射線的強(qiáng)度，采用適當(dāng)?shù)霓k法進(jìn)行校準(zhǔn)與校正，就可以求出該元素在樣品中的百分含量。這便是X射線熒光光譜定量分析。